向"芯"突破 青岛高新区打造半导体产业高地

各种规格的半导体晶片。

青岛新闻网3月10日讯（记者 任俊峰 通讯员 肖玲玲 李青健）近日，青岛高新区2022年春季10个重点项目正式启动建设。其中，总投资7亿元的华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目，将建设半导体衬底智能生产工厂，加工生产新一代晶片衬底产品，有效突破我国芯片制约性难题。

作为新一代信息技术产业的细分领域，半导体一直是青岛高新区产业布局的重点方向，目前已有20多家上下游企业在这里集聚，形成了包括芯片设计、封装测试、设备制造、材料加工等在内的半导体全产业链雏形。

年产33万片，助力突破芯片难题

近日，在青岛高新区，华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目正式启动建设，该项目采用碳化硅、氮化镓、氧化镓等第三代半导体化合物材料加工生产相关芯片衬底产品，广泛用于光电子器件（激光器、探测器等），大功率器件（充电桩、新能源汽车动力组件、轨道交通、特高压输电组件等），及通讯微波射频器件（4G、5G通讯基站）。

“我们深耕半导体化合物基础材料研发和生产多年，具备了蓝宝石、磷化铟、碳化硅、氧化镓等一系列第二代、第三代半导体化合物的技术储备和产业化能力，致力于打造青岛市半导体产业链科技创新平台。”青岛华芯晶元半导体科技有限公司董事长肖迪表示。氧化镓晶体是一种新型的超宽禁带半导体，它具有禁带宽度更大、吸收截止边更短、生长成本更低等突出优点，成为超高压功率器件和深紫外光电子器件的优选材料之一。由于在军事、能源、医疗、环境等领域有重要应用价值，近年来，氧化镓材料及器件的研究与应用，呈现出显著的加速发展势头，是当前德国、日本、美国等国家的研究热点和竞争重点。

据悉，该项目将建设半导体衬底智能生产工厂，加工生产新一代晶片衬底产品，助力突破我国芯片制约性难题，达产后将实现年产第三代大尺寸半导体化合物晶片衬底33万片，年产值5亿元。该项目的顺利开工，标志着华芯第三代半导体材料批量生产进入了实质性阶段，为我国第三代半导体的产业化迈出了坚实的一步。

工作人员正在对半导体产品进行检测。

“链式”招引，贯通上下游产业链

华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目的落地，加速了半导体产业在青岛高新区的集聚，也为青岛新一代信息技术产业增添了强劲的“芯”动力。

作为新一代信息技术产业的细分领域，半导体一直是青岛高新区产业布局的重点方向。据青岛高新区新一代信息技术产业事业部相关工作人员介绍，半导体产品生产流程十分复杂，大致可分为设计、制造、封装、测试等环节，而青岛高新区的半导体产业大致可分为设备类、材料类、设计类、制造类等。

在设备类的企业中，埃地沃兹真空泵制造（青岛）有限公司、高测股份、青岛赛瑞达电子科技有限公司是代表企业。其中，埃地沃兹是世界500强企业阿特拉斯·科普柯集团旗下的品牌企业，其产品半导体真空设备干泵的全球市场占有率连续多年超过50%，成为该领域世界第一品牌。“我们的合作伙伴包括京东方、长江存储、三星、台积电和富士康等半导体领域知名企业。”埃地沃兹真空泵制造（青岛）有限公司相关负责人介绍，真空泵市场在持续膨胀中，尤其是中国市场已进入快速增长期，发展前景广阔。

青岛嘉星晶电科技股份有限公司则是一家专注从事半导体材料研发、半导体设备生产、半导体技术服务的国家高新技术企业。“我们生产的蓝宝石衬底晶片被广泛应用于半导体及微电子行业、照明行业、手机电子消费品等领域，在蓝宝石衬底领域约占全国10%的市场份额。”嘉星晶电相关负责人表示。

传感器素有“电子五官”之称，是一切数据信息获取的功能器件。青岛智腾微电子有限公司专注于高端传感器和厚膜混合集成电路的设计研发和生产制造，重点从事加速度传感器、定向传感器、惯性导航测量设备等产品研制生产……

共抓产业链，贯通上下游。如今，已有20多家半导体产业上下游企业在青岛高新区集聚，涵盖芯片设计、材料加工、装备制造、应用开发等领域，产业链初具规模。

提升服务，优化半导体产业生态

加大项目招引力度，打通产业发展链条，服务也必须跟得上。这一点，华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目负责人吴志涛感慨颇深，“我们的建设工程许可证本来需要一周左右的时间，现在两天就办好了。”吴志涛表示，青岛高新区专门成立了项目推进部，专人协助办理相关事项，项目所需各项手续并联审批、压茬推进，实现了高效率落地开工。这也让肖迪对未来充满信心，“我们会努力将第三代半导体化合物晶片衬底项目建设成样板工程、精品工程，为青岛乃至全国的第三代半导体材料的自主研发和生产奠定基础。”

众多周知，半导体产业的发展有利于突破诸多“卡脖子”的难题，为此，青岛高新区对半导体产业发展给予了重点支持，如设备、流片补贴，相关人才政策，便利审批服务，企业网格员服务等。“此次引进半导体项目的落地，将有效带动高新区半导体产业快速发展，加快区域半导体产业结构转型升级，强化相关产业链上下游集群效应，对推动高新区、青岛乃至山东省在先进半导体材料行业的技术进步具有示范效应。”青岛高新区招商部相关负责人表示。

伴随一个个关键项目的加快落地，青岛高新区的半导体产业链条也日渐完备起来。下一步，青岛高新区将从芯片设计、半导体设备制造、封装测试、二代和三代半导体材料生产及加工等半导体产业细分领域入手，继续扩充半导体产业储备资源。与此同时，不断优化营商环境，吸引更多优质项目及高端人才来青岛高新区发展，进一步完善产业链条，撬动发展强动能，营造良好的产业生态，打造半导体产业高地。